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MEMSbeplay|登录发展前景分析

引言:

    九十年代初,国内几家研究机构采用混合集成技术成功的研制出实用的智能beplay|登录,标志着我国智能beplay|登录的研究进入了国际行列,但是与国外的先进技术相比,我们还有较大差距。

 

 智能beplay|登录随数字化时代诞生

  从微处理器带来的数字化革命到虚拟仪器(VXI)的飞速发展,对beplay|登录的综合精度、稳定可靠性和响应要求越来越高,传统beplay|登录已不能适应多种测试要求,随着微处理智能技术和微机械加工技术在beplay|登录上的应用,智能beplay|登录(SmartSensor)诞生了。

  目前,国际beplay|登录领域已对“SmartSensor”定义形成了基本共识,但中文译法尚未形成定论,本文所用的'智能beplay|登录'一词属个人引用。智能beplay|登录从其功能来说是具有一种或多种敏感功能,能够完成信号探测、变换处理、逻辑判断、功能计算、双向通讯,内部可实现自检、自校、自补偿、自诊断、具备以上部分功能或全部功能的器件。

  从使用的角度,beplay|登录的准确度、稳定性和可靠性是至关重要的。长期以来研究工作大都集中在硬件方面,虽然人们不断利用新材料研制敏感器件,改进beplay|登录芯片的制造工艺方法来提高芯片的质量以及通过外电路补偿方法来改善beplay|登录的线性度、稳定性和输出漂移,但都没有根本性的突破。

  七十年代,微处理器举世瞩目的成就带来了数字化的革命,对仪器仪表的发展起了巨大的推动作用。如九十年代的虚拟仪器(VXI)飞速发展,使以微型计算机为基础的测控系统都需要beplay|登录来提供赖以作出实时决策的数据。随着系统自动化程度的提高和复杂性的增加,对beplay|登录的综合精度、稳定可靠性和响应要求越来越高。传统的beplay|登录因其功能单一、性能不适应、不能满足多种测试要求,为此人们利用微处理器智能技术用于beplay|登录。八十年代末期,人们又将微机械加工技术应用到beplay|登录,从而产生新概念beplay|登录“SmartSensor”--智能beplay|登录。

  可实现的功能

  智能beplay|登录的功能是通过模拟人的感官和大脑的协调动作,结合长期以来测试技术的研究和实际经验而提出来的。是一个相对独立的智能单元,它的出现对原来硬件性能苛刻要求有所减轻,而靠软件帮助可以使beplay|登录的性能大幅度提高。

  1.复合敏感功能----我们观察周围的自然现象,常见的信号有声、光、电、热、力、化学等。敏感元件测量一般通过两种方式:直接和间接的测量。而智能beplay|登录具有复合功能,能够同时测量多种物理量和化学量,给出能够较全面反映物质运动规律的信息。如美国加利弗尼亚大学研制的复合液体beplay|登录,可同时测量介质的温度、流速、压力和密度。美国EG&GICSensors公司研制的复合力学beplay|登录,可同时测量物体某一点的三维振动加速度、速度、位移,等等。

  2.自补偿和计算功能----多年来从事beplay|登录研制的工程技术人员一直为beplay|登录的温度漂移和输出非线性作大量的补偿工作,但都没有从根本上解决问题。而智能beplay|登录的自补偿和计算功能为beplay|登录的温度漂移和非线性补偿开辟了新的道路。这样,放宽beplay|登录加工精密度要求,只要能保证beplay|登录的重复性好,利用微处理器对测试的信号通过软件计算,采用多次拟合和差值计算方法对漂移和非线性进行补偿,从而能获得较精确的测量结果。

  3.自检、自校、自诊断功能----普通beplay|登录需要定期检验和标定,以保证它在正常使用时足够的准确度,这些工作一般要求将beplay|登录从使用现场拆卸送到实验室或检验部门进行。

  对于在线测量beplay|登录出现异常则不能及时诊断。采用智能beplay|登录情况则大有改观,首先自诊断功能在电源接通时进行自检,诊断测试以确定组件有无故障。其次根据使用时间可以在线进行校正,微处理器利用存在EPROM内的计量特性数据进行对比校对。

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